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Cavity formation due to Si3N4/SiO2 film-induced stress in silicon
Veröffentlicht in Journal of the Electrochemical Society
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U-Groove Isolation Technology for High Density Bipolar LSI's
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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Analysis of Chemical State by Means of X-Ray Spectra Induced by Electron Capture Decay
Veröffentlicht in Radioisotopes
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