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Impact of SiO2 on Al-Al thermocompression wafer bonding
Veröffentlicht in Journal of micromechanics and microengineering
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3D System-on-Chip technologies for More than Moore systems
Veröffentlicht in Microsystem technologies
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Surface Energy of Fusion Bonded Silicon Nitride to Silicon
Veröffentlicht in Meeting abstracts (Electrochemical Society)
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