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    Synthesis of hydrogenated amorphous carbon films with a line type atmospheric-pressure plasma CVD apparatus

    Synthesis of hydrogenated amorphous carbon films with a line type atmospheric-pressure plasma CVD apparatus von Agemi, Masaki, Kayama, Kotaro, Noborisaka, Mayui, Tachimoto, Yohei, Shirakura, Akira, Suzuki, Tetsuya

    Veröffentlicht in Surface & coatings technology

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