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    MEMS device with stress decoupling structure

    MEMS device with stress decoupling structure von TUMBOLD, DAVID, GADRY MICHEL

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    Patent

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    Fluid sensor for detecting target fluid

    Fluid sensor for detecting target fluid von THAKAR PUNEET, STOCK GREG, AUSTERMANN, TOBIAS, TUMBOLD, DAVID, THOMAS GRILLE, GIANNASARI RICCARDO

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    Patent

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    Package for optical radiation device

    Package for optical radiation device von WESTMARLAND, PETER, MITTEREDER TOBIAS, GLACER CHRISTOPH, KRUMBEIN ULRICH, RICHARD HERVE, PAVEL MARK, QI SIYUAN, TUMBOLD, DAVID

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    Patent

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    Combined corrugated piezoelectric microphone and corrugated piezoelectric vibration sensor

    Combined corrugated piezoelectric microphone and corrugated piezoelectric vibration sensor von MISHRA PRIYA, LORENZ, G ¨ 1 NTER, NEUMAIER DANIEL, BRETTHAUER CHRISTIAN, GOSWAMI SAMEER, TUMBOLD, DAVID, HERMAN, MICHAEL, F

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    Patent

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