-
1
-
2
-
3
Low-temperature reactive ion etching and microwave plasma etching of silicon
Veröffentlicht in Applied physics letters
VolltextArtikel -
4
Deposition in dry-etching gas plasmas
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
VolltextArtikel -
5
-
6
-
7
Novel short-gas-residence-time electron cyclotron resonance plasma etching
Veröffentlicht in Applied physics letters
VolltextArtikel -
8
Low-temperature microwave plasma etching of crystalline silicon
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
VolltextArtikel -
9
Mechanism of radiation damage in SiO2/Si induced by vuv photons
Veröffentlicht in Japanese journal of applied physics
VolltextArtikel -
10
Lower plasma-induced damage in SiO2/Si at lower temperatures
Veröffentlicht in Applied physics letters
VolltextArtikel -
11
-
12
-
13
高炉スラグ細骨材と低度処理再生粗骨材を用いたコンクリートの施工性能および急速凍結融解抵抗性に関する検討
Veröffentlicht in セメント・コンクリート論文集
VolltextArtikel -
14
-
15
-
16
-
17
-
18
-
19
-
20