Suchergebnisse - TSUI JOSHUA CHIU-WING | OPAC THWS

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Electrostatic chuck with polymeric impregnation and method of making von COLLINS, KENNETH S, BUCHBERGER, DOUGLAS, TSUI, JOSHUA CHIU-WING

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Electrostatic chuck with polymeric impregnation and method of making von COLLINS, KENNETH S, BUCHBERGER, DOUGLAS, TSUI, JOSHUA CHIU-WING

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Plasma guard for chamber equipped with electrostatic chuck von MOHN, JON, COLLINS, KENNETH S, TSUI, JOSHUA CHIU-WING

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4

Plasma guard for use in a vacuum process chamber von COLLINS, KENNETH S, TSUI, JOSHUA CHIU-WING, MOHN, JOHN

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5

Plasma reactor having an inductive antenna coupling power through a parallel plate electrode von ASKARINAM ERIC, RICE MICHAEL, TROW JOHN, TSUI JOSHUA CHIU-WING, HUNG RAYMOND, COLLINS KENNETH S, BUCHBERGER DOUGLAS, GROECHEL DAVID W

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6

Plasma reactor having an inductive antenna coupling power through a parallel plate electrode von Collins, Kenneth S, Rice, Michael, Trow, John, Buchberger, Douglas, Askarinam, Eric, Tsui, Joshua Chiu-Wing, Groechel, David W, Hung, Raymond

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7

Plasma reactor having an inductive antenna coupling power through a parallel plate electrode von RICE, MICHAEL, GROECHEL, DAVID W, COLLINS, KENNETH S, BUCHBERGER, DOUGLAS, ASKARINAM, ERIC, HUNG, RAYMOND, TSUI, JOSHUA CHIU-WING, TROW, JOHN

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8

Elektrostatische Haltevorrichtung benutzbar in Hochdichteplasma von MARKS, JEFFREY, TROW, JOHN R, COLLINS, KENNETH S, RODERICK, CRAIG A, TSUI, JOSHUA CHIU-WING, BRIGHT, NICOLAS J, DING, JIAN, ISHIKAWA, TETSUYA

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Electrostatic chuck usable in high density plasma von MARKS, JEFFREY, TROW, JOHN R, COLLINS, KENNETH S, RODERICK, CRAIG A, TSUI, JOSHUA CHIU-WING, BRIGHT, NICOLAS J, DING, JIAN, ISHIKAWA, TETSUYA

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Electrostatic chuck usable in high density plasma von RODERICK, CRAIG A, ISHIKAWA, TETSUYA, COLLINS, KENNETH S, TROW, JOHN R, MARKS, JEFFREY, DING, JIAN, BRIGHT, NICOLAS J, TSUI, JOSHUA CHIU-WING

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Parallel plate electrode plasma reactor having an inductive antenna coupling power through a parallel plate electrode von MICHAEL RICE, JOSHUA CHIU-WING TSUI, ERIC ASKARINAM, JOHN TROW, DAID W. GROECHEL, DOUGLAS BUCHBERGER, KENNETH S COLLINS

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