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Quality Factor Maximization Through Dynamic Balancing of Tuning Fork Resonator
Veröffentlicht in IEEE sensors journal
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Low-Dissipation Silicon Tuning Fork Gyroscopes for Rate and Whole Angle Measurements
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Foucault pendulum on a chip: Rate integrating silicon MEMS gyroscope
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Environmentally Robust MEMS Vibratory Gyroscopes for Automotive Applications
Veröffentlicht in IEEE sensors journal
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Folded MEMS Pyramid Inertial Measurement Unit
Veröffentlicht in IEEE sensors journal
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High Quality Factor Resonant MEMS Accelerometer With Continuous Thermal Compensation
Veröffentlicht in IEEE sensors journal
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