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A new sequential EBID process for the creation of pure Pt structures from MeCpPtMe3
Veröffentlicht in Nanotechnology
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Sidewall angle tuning in focused electron beam-induced processing
Veröffentlicht in Beilstein journal of nanotechnology
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Embedded purification for electron beam induced Pt deposition using MeCpPtMe3
Veröffentlicht in Nanotechnology
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