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MEMS device
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Nathanson, Harvey C
,
Kirby, Christopher
,
Tranchini, Robert
,
Young, Robert M
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MEMS device
von
KIRBY CHRISTOPHER
,
NATHANSON HARVEY C
,
TRANCHINI ROBERT
,
YOUNG ROBERT M
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IMPROVED MEMS DEVICE
von
TRANCHINI, ROBERT
,
KIRBY, CHRISTOPHER
,
NATHANSON, HARVEY C
,
YOUNG, ROBERT M
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LOW CHARGING DIELECTRIC FOR CAPACITIVE MEMS DEVICES AND METHOD OF MAKING THE SAME
von
HORNER, JEREMIAH J
,
DESALVO, GREGORY C
,
CRAMER, HARLAN C
,
KIRBY, CHRISTOPHER F
,
TRANCHINI, ROBERT C
,
HORNER, ROBERT J
,
DIX, GILBERT E
,
HOWELL, ROBERT S
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5
LOW CHARGING DIELECTRIC FOR CAPACITIVE MEMS DEVICES AND METHOD OF MAKING THE SAME
von
TRANCHINI, ROBERT, C
,
CRAMER, HARLAN, C
,
DESALVO, GREGORY, C
,
HORNER, ROBERT, J
,
HORNER, JEREMIAH, J
,
KIRBY, CHRISTOPHER, F
,
HOWELL, ROBERT, S
,
DIX, GILBERT, E
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6
Low charging dielectric for capacitive MEMS devices and method of making same
von
HOWELL ROBERT S
,
HORNER JEREMIAH J
,
DIX GILBERT E
,
HORNER ROBERT J
,
TRANCHINI ROBERT C
,
KIRBY CHRISTOPHER F
,
CRAMER HARLAN C
,
DESALVO GREGORY C
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