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    Electrical Contacts in SOI MEMS Using Aerosol Jet Printing

    Electrical Contacts in SOI MEMS Using Aerosol Jet Printing von Khorramdel, Behnam, Torkkeli, Altti, Mantysalo, Matti


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    Mechanical properties and reliability of aluminum nitride thin films

    Mechanical properties and reliability of aluminum nitride thin films von Österlund, Elmeri, Kinnunen, Jere, Rontu, Ville, Torkkeli, Altti, Paulasto-Kröckel, Mervi

    Veröffentlicht in Journal of alloys and compounds

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    Metalorganic chemical vapor deposition of aluminum nitride on vertical surfaces

    Metalorganic chemical vapor deposition of aluminum nitride on vertical surfaces von Österlund, Elmeri, Suihkonen, Sami, Ross, Glenn, Torkkeli, Altti, Kuisma, Heikki, Paulasto-Kröckel, Mervi

    Veröffentlicht in Journal of crystal growth

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    A SCANNING MEMS REFLECTOR SYSTEM

    A SCANNING MEMS REFLECTOR SYSTEM von Torkkeli, Altti

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    MEMS structure including a cap with a via

    MEMS structure including a cap with a via von Torkkeli, Altti, Iihola, Antti

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    A MANUFACTURING METHOD OF A MULTI-LEVEL MICROMECHANICAL STRUCTURE

    A MANUFACTURING METHOD OF A MULTI-LEVEL MICROMECHANICAL STRUCTURE von TORKKELI, Altti, IIHOLA, Antti

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    METHOD FOR STRUCTURAL LAYER FABRICATION IN MICROMECHANICAL DEVICES

    METHOD FOR STRUCTURAL LAYER FABRICATION IN MICROMECHANICAL DEVICES von TORKKELI, Altti, FUJII, Hidetoshi

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    METHOD FOR STRUCTURAL LAYER FABRICATION IN MICROMECHANICAL DEVICES

    METHOD FOR STRUCTURAL LAYER FABRICATION IN MICROMECHANICAL DEVICES von TORKKELI, Altti, Fujii, Hidetoshi

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    MEMS on cavity-SOI wafers

    MEMS on cavity-SOI wafers von Luoto, Hannu, Henttinen, Kimmo, Suni, Tommi, Dekker, James, Mäkinen, Jari, Torkkeli, Altti

    Veröffentlicht in Solid-state electronics

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    Scanning MEMS reflector system

    Scanning MEMS reflector system von Torkkeli, Altti

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    Capacitive microphone with low-stress polysilicon membrane and high-stress polysilicon backplate

    Capacitive microphone with low-stress polysilicon membrane and high-stress polysilicon backplate von Torkkeli, Altti, Rusanen, Outi, Saarilahti, Jaakko, Seppä, Heikki, Sipola, Hannu, Hietanen, Jarmo


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    METHOD OF MANUFACTURING A MEMS STRUCTURE AND USE OF THE METHOD

    METHOD OF MANUFACTURING A MEMS STRUCTURE AND USE OF THE METHOD von TORKKELI, Altti

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    In situ boron-doped LPCVD polysilicon with low tensile stress for MEMS applications

    In situ boron-doped LPCVD polysilicon with low tensile stress for MEMS applications von Ylönen, Mari, Torkkeli, Altti, Kattelus, Hannu


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    A SCANNING MIRROR DEVICE AND A METHOD FOR MANUFACTURING IT

    A SCANNING MIRROR DEVICE AND A METHOD FOR MANUFACTURING IT von Laaksonen, Tapani, Torkkeli, Altti

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    SCANNING MEMS REFLECTOR SYSTEM

    SCANNING MEMS REFLECTOR SYSTEM von TORKKELI Altti

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    A SCANNING MEMS REFLECTOR SYSTEM

    A SCANNING MEMS REFLECTOR SYSTEM von Torkkeli, Altti

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    MEMS reflector with center support

    MEMS reflector with center support von Torkkeli, Altti, Liukku, Matti

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    Menetelmä MEMS-rakenteen valmistamiseksi ja menetelmän käyttö

    Menetelmä MEMS-rakenteen valmistamiseksi ja menetelmän käyttö von Torkkeli, Altti

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    A MEMS REFLECTOR SYSTEM

    A MEMS REFLECTOR SYSTEM von Torkkeli, Altti, Liukku, Matti

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    MEMS reflector system

    MEMS reflector system von Torkkeli, Altti, Liukku, Matti

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