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Design and modeling of a high-speed AFM-scanner : Dynamics and control of micro- and nanoscale systems
von
SCHITTER, Georg
,
ASTRÖM, Karl J
,
DEMARTINI, Barry E
,
THUMER, Philipp J
,
TURNER, Kimberly L
,
HANSMA, Paul K
Veröffentlicht in
IEEE transactions on control systems technology
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