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Observations of modal interaction in lateral bulk acoustic resonators
Veröffentlicht in Applied physics letters
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The effect of mass loading on spurious modes in micro-resonators
Veröffentlicht in Applied physics letters
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A Seismic-Grade Resonant MEMS Accelerometer
Veröffentlicht in Journal of microelectromechanical systems
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A high-resolution micro-electro-mechanical resonant tilt sensor
Veröffentlicht in Sensors and actuators. A. Physical.
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