Suchergebnisse - TEHRANI SAM JAFARIAN | OPAC THWS

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PROCESS MODULE CHAMBER PROVIDING SYMMETRIC RF RETURN PATH von Leeser, Karl Frederick, Wiltse, John Michael, French, David, Jafarian Tehrani, Sam

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2

PROCESS MODULE CHAMBER PROVIDING SYMMETRIC RF RETURN PATH von JAFARIAN TEHRANI, Sam, FRENCH, David, LEESER, Karl, WILTSE, John

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3

AUTOMATED SHOWERHEAD TILT ADJUSTMENT von Luo, Bin, Tehrani, Sam Jafarian, Cmelak, Bryan Anthony, Wiltse, John, Hiester, Jacob Lee

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4

PARASITIC PLASMA SUPPRESSOR von BABBAR, Yogesh, JAFARIAN-TEHRANI, Sam, CHENG, Weifeng, MARTIN, Keith Joseph, BRENINGER, Andrew H, FRENCH, David, SAKIYAMA, Yukinori, BAILEY, Curtis W

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5

AUTOMATED SHOWERHEAD TILT ADJUSTMENT von LUO, Bin, HIESTER, Jacob Lee, TEHRANI, Sam Jafarian, CMELAK, Bryan Anthony, WILTSE, John Michael

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6

대칭적인 RF 리턴 경로를 제공하는 프로세스 모듈 챔버 von WILTSE JOHN MICHAEL, FRENCH DAVID, JAFARIAN TEHRANI SAM, LEESER KARL FREDERICK

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7

Process module chamber providing symmetric RF return path von WILTSE, JOHN MICHAEL, JAFARIAN TEHRANI, SAM, FRENCH, DAVID, LEESER, KARL FREDERICK

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8

자동화된 샤워헤드 틸팅 조정 von WILTSE JOHN MICHAEL, LUO BIN, CMELAK BRYAN ANTHONY, TEHRANI SAM JAFARIAN, HIESTER JACOB LEE

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9

Parasitic plasma suppressor von JAFARIAN-TEHRANI, SAM, CHENG, WEI-FENG, BRENINGER, ANDREW H, FRENCH, DAVID, MARTIN, KEITH JOSEPH, BABBAR, YOGESH, SAKIYAMA, YUKINORI, BAILEY, CURTIS W

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10

Automated showerhead tilt adjustment von LUO, BIN, WILTSE, JOHN MICHAEL, TEHRANI, SAM JAFARIAN, CMELAK, BRYAN ANTHONY, HIESTER, JACOB LEE

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