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Microstructure analysis of Ag films deposited by low-voltage sputtering
Veröffentlicht in Thin solid films
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Optimum structure of metal oxide under-layer used in Ag-based multilayer
Veröffentlicht in Vacuum
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Reactive Sputter Deposition of SiOxNy Films under Ar--CO2--N2 Atmosphere
Veröffentlicht in Jpn J Appl Phys
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