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Low-temperature, high-growth-rate ALD of SiO2 using aminodisilane precursor
Veröffentlicht in Applied surface science
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Layer-modulated synthesis of uniform tungsten disulfide nanosheet using gas-phase precursors
Veröffentlicht in Nanoscale
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Self-Limiting Layer Synthesis of Transition Metal Dichalcogenides
Veröffentlicht in Scientific reports
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