Damascene test structures for the evaluation of barrier layer performance against copper diffusion von Motte, P, Swaanen, M, Torres, J, Gilet, J.M, Wyborn, G

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Productivity enhancement using a methodical approach to defect reduction based on synergy of process and defect metrology knowledge von Schreutelkamp, R., van der Reijden, M., King, T., Mast, K., Englard, I., Zondag, J., Rommel, F., Harzenetter, S., Schoel, H., Cavelaars, J., Swaanen, M., Liang Shi, Sahr, H., Gerwig, M., Junker, M., Poschadel, R., Hein, B.

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Damascene test structures for the evaluation of barrier layer performance against copper diffusion von Motte, P, Swaanen, M, Torres, J, Gilet, J M, Wyborn, G

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Hot-pressing of MgSiN2 ceramics von HINTZEN, H. T, SWAANEN, P, METSELAAR, R, GROEN, W. A, KRAAN, M. J

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Hot-pressing of MgSiN sub 2 ceramics von Hintzen, H T, Swaanen, P, Metselaar, R, Groen, W A, Kraan, M J

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De Gids. Jaargang 146 von [tijdschrift] Gids, De

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De Gids. Jaargang 168 von [tijdschrift] Gids, De

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De Gids. Jaargang 149 von [tijdschrift] Gids, De

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De Gids. Jaargang 150 von [tijdschrift] Gids, De

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De Gids. Jaargang 145 von [tijdschrift] Gids, De

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De Gids. Jaargang 142 von [tijdschrift] Gids, De

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De Gids. Jaargang 140 von [tijdschrift] Gids, De

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De Gids. Jaargang 139 von [tijdschrift] Gids, De

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De Gids. Jaargang 133 von [tijdschrift] Gids, De

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De Gids. Jaargang 131 von [tijdschrift] Gids, De

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De Gids. Jaargang 130 von [tijdschrift] Gids, De

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De Gids. Jaargang 129 von [tijdschrift] Gids, De

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