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    Investigation on better Sensitive Silicon based MEMS Pressure Sensor for High Pressure Measurement

    Investigation on better Sensitive Silicon based MEMS Pressure Sensor for High Pressure Measurement von K.J, Suja, Surya Raveendran, E., Komaragiri, Rama


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    Finite element analysis on miniature silicon and SOI pressure sensors

    Finite element analysis on miniature silicon and SOI pressure sensors von Surya Raveendran, E., Suja, K J, Komaragiri, Rama


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