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Optimization of Layer Transfer and Photolithography for Device Integration of 2D-TMDC
von
Ghiami, Amir
,
Sun, Tianyishan
,
Fiadziushkin, Hleb
,
Tang, Songyao
,
Grundmann, Annika
,
Heuken, Michael
,
Kalisch, Holger
,
Vescan, Andrei
Veröffentlicht in
Crystals (Basel)
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Dry Transfer Based on PMMA and Thermal Release Tape for Heterogeneous Integration of 2D-TMDC Layers
von
Ghiami, Amir
,
Fiadziushkin, Hleb
,
Sun, Tianyishan
,
Tang, Songyao
,
Wang, Yibing
,
Mayer, Eva
,
Schneider, Jochen M
,
Piacentini, Agata
,
Lemme, Max C
,
Heuken, Michael
,
Kalisch, Holger
,
Vescan, Andrei
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Dry Transfer Based on PMMA and Thermal Release Tape for Heterogeneous Integration of 2D-TMDC Layers
von
Ghiami, Amir
,
Fiadziushkin, Hleb
,
Sun, Tianyishan
,
Tang, Songyao
,
Wang, Yibing
,
Mayer, Eva
,
Schneider, Jochen M
,
Piacentini, Agata
,
Lemme, Max C
,
Heuken, Michael
,
Kalisch, Holger
,
Vescan, Andrei
Veröffentlicht in
arXiv.org
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