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Recent improvements in the integration of field emitters into scanning probe microscopy sensors
von
Beuer, S.
,
Rommel, M.
,
Petersen, S.
,
Amon, B.
,
Sulzbach, Th
,
Engl, W.
,
Bauer, A.J.
,
Ryssel, H.
Veröffentlicht in
Microelectronic engineering
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2
Integration of field emitters into scanning probe microscopy sensors using focused ion and electron beams
von
Lehrer, C.
,
Frey, L.
,
Petersen, S.
,
Ryssel, H.
,
Schäfer, M.
,
Sulzbach, Th
Veröffentlicht in
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
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3
Fabrication of silicon aperture probes for scanning near-field optical microscopy by focused ion beam nano machining
von
Lehrer, C.
,
Frey, L.
,
Petersen, S.
,
Sulzbach, Th
,
Ohlsson, O.
,
Dziomba, Th
,
Danzebrink, H.U.
,
Ryssel, H.
Veröffentlicht in
Microelectronic engineering
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4
Ion beam-treated silicon probes operated in transmission and cross-polarized reflection mode near-infrared scanning near-field optical microscopy (NIR-SNOM)
von
Dziomba, Th
,
Sulzbach, Th
,
Ohlsson, O.
,
Lehrer, Ch
,
Frey, L.
,
Danzebrink, H. U.
Veröffentlicht in
Surface and interface analysis
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5
Piezoresistive bridge configuration for atomic force microscopy
von
Jumpertz, R.
,
van der Hart, A.
,
Schelten, J.
,
Ohlsson, O.
,
Sulzbach, Th
,
Saurenbach, F.
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Tagungsbericht
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6
Integration of field emitters into scanning probe microscopy sensors using focused ion and electron beams
von
Lehrer, C.
,
Frey, L.
,
Schafer, M.
,
Sulzbach, T.
,
Petersen, S.
,
Ryssel, H.
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Tagungsbericht
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7
Nano‐slit probes for near‐field optical microscopy fabricated by focused ion beams
von
Danzebrink, H. U.
,
Dziomba, TH
,
Sulzbach, T.
,
Ohlsson, O.
,
Lehrer, C.
,
Frey, L.
Veröffentlicht in
Journal of microscopy (Oxford)
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Journal Of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics And Nanometer Structures
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Journal Of Vacuum Science & Technology. B, Microelectronics And Nanometer Structures Processing, Measurement And Phenomena
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Journal Of Vacuum Science And Technology. B, Nanotechnology & Microelectronics
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Elsevier Sciencedirect Journals
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Journals@Ovid Complete
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