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1
Effect of retaining ring slot designs and polishing conditions on slurry flow dynamics at bow wave
von
Liao, X.
,
Sampurno, Y.
,
Zhuang, Y.
,
Rice, A.
,
Sudargho, F.
,
Philipossian, A.
,
Wargo, C.
Veröffentlicht in
Microelectronic engineering
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Effect of Slurry Application/Injection Methods and Polishing Conditions on Bow Wave Characteristics
von
Liao, Xiaoyan
,
Sampurno, Yasa
,
Zhuang, Yun
,
Sudargho, Fransisca
,
Rice, Adam
,
Philipossian, Ara
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Novel Diamond Disc Diagnostic Method Based on 'Dry' Coefficient of Friction Measurements
von
Sampurno, Yasa
,
Sudargho, Fransisca
,
Meled, Anand
,
Zhuang, Yun
,
Philipossian, Ara
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Institute Of Physics Iopscience Extra
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Ingentaconnect
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Access Via Sciencedirect (Elsevier)
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Sd College Edition Journals Collection - Physical Sciences [Scps]
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