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Extreme ultraviolet lithography
Veröffentlicht in IEEE journal of quantum electronics
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13-nm extreme ultraviolet lithography
Veröffentlicht in IEEE journal of selected topics in quantum electronics
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Current Status of the EUV Engineering Test Stand
Veröffentlicht in Journal of Photopolymer Science and Technology
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Hydrogen chemisorption and the structure of the diamond C(100)-(2 × 1) surface
Veröffentlicht in Surface science
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Hydrogen desorption from chemical vapor deposited diamond films
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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