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Impact of Fabrication Process on Electrical Properties and on Interfacial Density of States in 4H-SiC n-MOSFETs Studied by Hall Effect von Mortet, Vincent, Uhnevionak, Viktoryia, Burenkov, Alexander, Strenger, Chrisitan, Bedel-Pereira, Eléna, Ortiz, Guillermo, Bauer, Anton J., Pichler, Peter, Cristiano, Fuccio
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