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A Method for Defect Delineation in Silicon Carbide Using Potassium Hydroxide Vapor
von
Bondokov, Robert T.
,
Khlebnikov, Igor I.
,
Lashkov, Tsanko
,
Tupitsyn, Eugene
,
Stratiy, Georgiy
,
Khlebnikov, Yuri
,
Sudarshan, Tangali S.
Veröffentlicht in
Japanese Journal of Applied Physics
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Institute Of Physics (Iop) Journals - Heal-Link
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