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MESSZELLENANORDNUNG FÜR EINEN MIT HOHEN DRÜCKE BELASTBAREN DRUCKSENSOR
von
STRÄSSLE, VALENTIN
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Verfahren zur Herstellung eines Sensorelements mit mehreren Funktionsschichten für einen Drucksensor, Sensorelement und Sensor
von
Pahlke, Achim
,
Strässle, Valentin
,
Siber, Armin
,
Bischof, David
,
Gutsche, Martin
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Patent
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Measuring Force, Stress, Torque, Work, Mechanical Power,Mechanical Efficiency, Or Fluid Pressure
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Microstructural Devices Or Systems, E.g. Micromechanicaldevices
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Esp@Cenet
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