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Characterization of the surface structural, mechanical, and thermal properties of benzocyclobutene dielectric polymers using scanned probe microscopy
von
Meyers, Gregory F.
,
Dineen, Michael T.
,
Shaffer II, Edward O.
,
Stokich Jr, Ted
,
Im, Jang-hi
Veröffentlicht in
Macromolecular symposia.
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Characterization of the surface structural, mechanical, and thermal properties of benzocyclobutene dielectric polymers using scanned probe microscopy
von
MEYERS, Gregory F
,
DINEEN, Michael T
,
II, Edward O
,
STOKICH, Ted JR
,
IM, Jang-Hi
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