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Molecular-dynamics model of energetic fluorocarbon-ion bombardment on SiO{sub 2} I. Basic model and CF{sub 2}{sup +}-ion etch characterization
von
Smirnov, V.V.
,
Stengach, A.V.
,
Gaynullin, K.G.
,
Pavlovsky, V.A.
,
Rauf, S.
,
Stout, P.J.
,
Ventzek, P.L.G.
,
Advanced Products Research and Development Laboratory, Freescale Semiconductor, Inc., 3501 Ed Bluestein Boulevard, MD K-10, Austin, Texas 78721
Veröffentlicht in
Journal of applied physics
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The impact of tritium on the structure and properties of Pd-membranes
von
Klevtsov, V.G
,
Boitsov, I.E
,
Vedeneev, A.I
,
Glagolev, M.V
,
Lobanov, V.N
,
Malkov, I.L
,
Pimanikhin, S.A
,
Stengach, A.V
Veröffentlicht in
Fusion engineering and design
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Von:
Bis:
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Science Citation Index Expanded (Web Of Science)
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Aip Digital Archive
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Ingentaconnect
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Aip Journals Complete
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Access Via Sciencedirect (Elsevier)
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Sd College Edition Journals Collection - Physical Sciences [Scps]
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