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Etch rates of (100), (111) and (110) single-crystal silicon in TMAH measured in situ by laser reflectance interferometry
von
Steinsland, Elin
,
Finstad, Terje
,
Hanneborg, Anders
Veröffentlicht in
Sensors and actuators. A. Physical.
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2
Laser Reflectance Interferometry for In Situ Determination of Silicon Etch Rate in Various Solution
von
Steinsland, Elin
,
Finstad, Terje
,
Hanneborg, Anders
Veröffentlicht in
Journal of the Electrochemical Society
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Artikel
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3
Boron etch-stop in TMAH solutions
von
Steinsland, Elin
,
Nese, Martin
,
Hanneborg, Anders
,
Bernstein, Ralph W.
,
Sandmo, Halle
,
Kittilsland, Gjermund
Veröffentlicht in
Sensors and actuators. A. Physical.
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4
Laser reflectance interferometry for in situ determination of silicon etch rate in various solutions
von
STEINSLAND, E
,
FINSTAD, T
,
HANNEBORG, A
Veröffentlicht in
Journal of the Electrochemical Society
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Prosjektrapport frå interkommunalt samarbeid mellom Etne, Vindafjord, Sauda og Suldal 2012-2013. Fagområde rehabilitering (inkludert kvardagsrehabilitering)
von
Sørheim, Anita
,
Thør, Sylvia
,
Bjelland, Brit
,
Kjellstad, Elin
,
Steinsland, Synnøve E.
,
Nesbu, Gunnbjørg
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Prosjektrapport frå interkommunalt samarbeid mellom Etne, Vindafjord, Sauda og Suldal 2012-2013. Fagområde rehabilitering (inkludert kvardagsrehabilitering)
von
Sørheim, Anita
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Thør, Sylvia
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Bjelland, Brit
,
Kjellstad, Elin
,
Steinsland, Synnøve E
,
Nesbu, Gunnbjørg
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Applied Sciences
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Bis:
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Iopscience Extra
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Access Via Sciencedirect (Elsevier)
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Sd College Edition Journals Collection - Physical Sciences [Scps]
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Nora - Norwegian Open Research Archives
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Brage Consortium Repository
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