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The role of implantation temperature and dose in the control of the microstructure of SIMOX structures
von
Reeson, K.J.
,
Robinson, A.K.
,
Hemment, P.L.F.
,
Marsh, C.D.
,
Christensen, K.N.
,
Booker, G.R.
,
Chater, R.J.
,
Kilner, J.A.
,
Harbeke, G.
,
Steigmeir, E.F.
,
Celler, G.K.
Veröffentlicht in
Microelectronic engineering
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Characterization of InP and related materials by light scattering and photoluminescence
von
Steigmeier, E.F.
,
Auderset, H.
,
Epler, J.E.
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Ieee Electronic Library (Iel) Conference Proceedings
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Ieee Power & Energy Library
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Ieee Electronic Library (Iel)
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Ingenta Connect
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Elsevier Sciencedirect Journals
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Sd College Edition Journals Collection - Physical Sciences [Scps]
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