Femtosecond Laser Assisted 3D Etching Using Inorganic-Organic Etchant von Butkutė, Agnė, Merkininkaitė, Greta, Jurkšas, Tomas, Stančikas, Jokūbas, Baravykas, Tomas, Vargalis, Rokas, Tičkūnas, Titas, Bachmann, Julien, Šakirzanovas, Simas, Sirutkaitis, Valdas, Jonušauskas, Linas

Volltext

Optimization of selective laser etching (SLE) for glass micromechanical structure fabrication von Butkutė, Agnė, Baravykas, Tomas, Stančikas, Jokūbas, Tičkūnas, Titas, Vargalis, Rokas, Paipulas, Domas, Sirutkaitis, Valdas, Jonušauskas, Linas

Volltext