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Suchergebnisse - Srinivasamurthy, Vidyadharan
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MULTI-ZONE HEATER WITH MINIMUM RF LOSS
von
HAMMOND, Edward P
,
SRINIVASAMURTHY, Vidyadharan
,
ROCHA-ALVAREZ, Juan Carlos
,
LI, Jian
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MULTI-ZONE HEATER WITH MINIMUM RF LOSS
von
Srinivasamurthy, Vidyadharan
,
Li, Jian
,
Rocha-Alvarez, Juan Carlos
,
Hammond, Edward P
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HIGH HEAT LOSS HEATER AND ELECTROSTATIC CHUCK FOR SEMICONDUCTOR PROCESSING
von
Srinivasamurthy, Vidyadharan
,
Woo, Katherine
,
Kulkarni, Mayur Govind
,
Brillhart, Paul L
,
Li, Jian
,
Rocha-Alvarez, Juan Carlos
,
Zhang, Wenhao
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4
HIGH HEAT LOSS HEATER AND ELECTROSTATIC CHUCK FOR SEMICONDUCTOR PROCESSING
von
ZHANG, Wenhao
,
SRINIVASAMURTHY, Vidyadharan
,
BRILLHART, Paul L
,
KULKARNI, Mayur Govind
,
ROCHA-ALVAREZ, Juan Carlos
,
LI, Jian
,
WOO, Katherine
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5
최소 RF 손실을 갖는 다중 존 히터
von
ROCHA ALVAREZ JUAN CARLOS
,
SRINIVASAMURTHY VIDYADHARAN
,
LI JIAN
,
HAMMOND EDWARD P
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6
Multi-zone heater with minimum RF loss
von
ROCHA-ALVAREZ, JUAN CARLOS
,
LI, JIAN
,
HAMMOND, EDWARD P
,
SRINIVASAMURTHY, VIDYADHARAN
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7
반도체 프로세싱을 위한 높은 열 손실 히터 및 정전 척
von
ROCHA ALVAREZ JUAN CARLOS
,
BRILLHART PAUL L
,
WOO KATHERINE
,
SRINIVASAMURTHY VIDYADHARAN
,
ZHANG WENHAO
,
LI JIAN
,
KULKARNI MAYUR GOVIND
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8
High heat loss heater and electrostatic chuck for semiconductor processing
von
WOO, KATHERINE
,
LI, JIAN
,
KULKARNI, MAYUR GOVIND
,
ROCHA-ALVAREZ, JUAN C
,
ZHANG, WENHAO
,
BRILLHART, PAUL L
,
SRINIVASAMURTHY, VIDYADHARAN
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Esp@Cenet
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