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    Local laser-induced solid-phase recrystallization of phosphorus-implanted Si/SiGe heterostructures for contacts below 4.2 K

    Local laser-induced solid-phase recrystallization of phosphorus-implanted Si/SiGe heterostructures for contacts below 4.2 K von Neul, Malte, Sprave, Isabelle V., Diebel, Laura K., Zinkl, Lukas G., Fuchs, Florian, Yamamoto, Yuji, Vedder, Christian, Bougeard, Dominique, Schreiber, Lars R.

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