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    Comparison of double patterning technologies in NAND flash memory with sub-30nm node

    Comparison of double patterning technologies in NAND flash memory with sub-30nm node von Byungjoon Hwang, Jeehoon Han, Myeong-Cheol Kim, Sunggon Jung, Namsu Lim, Sowi Jin, Yongsik Yim, Donghwa Kwak, Jaekwan Park, Jungdal Choi, Kinam Kim


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    Development of 38nm Bit-Lines using Copper Damascene Process for 64-Giga bits NAND Flash

    Development of 38nm Bit-Lines using Copper Damascene Process for 64-Giga bits NAND Flash von Byungjoon Hwang, Namsu Lim, Jang-Ho Park, Sowi Jin, Minjeong Kim, Jaesuk Jung, Byungho Kwon, Jongwon Hong, Jeehoon Han, Donghwa Kwak, Jaekwan Park, Jung-Dai Choi, Won-Seong Lee


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