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    Thin SixNyCz films deposited from hexamethyldisilazane by RF PECVD technique for optical filter applications

    Thin SixNyCz films deposited from hexamethyldisilazane by RF PECVD technique for optical filter applications von Oleśko, Katarzyna, Szymanowski, Hieronim, Gazicki-Lipman, Maciej, Balcerzak, Jacek, Ski, Witold Szymań, Pawlak, Wojciech, Sobczyk-Guzenda, Anna

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    Thin Si x N y C z films deposited from hexamethyldisilazane by RF PECVD technique for optical filter applications

    Thin Si x N y C z films deposited from hexamethyldisilazane by RF PECVD technique for optical filter applications von Oleśko, Katarzyna, Szymanowski, Hieronim, Gazicki-Lipman, Maciej, Balcerzak, Jacek, Ski, Witold Szymań, Pawlak, Wojciech, Sobczyk-Guzenda, Anna

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