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    Effect of Deposition Temperature on Zn Interstitials and Oxygen Vacancies in RF-Sputtered ZnO Thin Films and Thin Film-Transistors

    Effect of Deposition Temperature on Zn Interstitials and Oxygen Vacancies in RF-Sputtered ZnO Thin Films and Thin Film-Transistors von Muthusamy, Sasikala, Bharatan, Sudhakar, Sivaprakasam, Sinthamani, Mohanam, Ranjithkumar

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