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    Increasing the range of unambiguity in step-height measurement with multiple-wavelength interferometry--application to absolute long gauge block measurement

    Increasing the range of unambiguity in step-height measurement with multiple-wavelength interferometry--application to absolute long gauge block measurement von Decker, Jennifer E, Miles, John R, Madej, Alan A, Siemsen, Ralph F, Siemsen, Klaus J, de Bonth, Sebastian, Bustraan, Krijn, Temple, Sara, Pekelsky, James R

    Veröffentlicht in Applied Optics

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