Heavy carbon doping in low-pressure metalorganic vapor phase epitaxy of GaAs using trimethylarsenic — a comparison between the carrier gases N2 and H2 von Hardtdegen, Hilde, Ungermanns, Chr, Wirtz, K., Guggi, D., Herion, J., Siekmann, Hildegard, Lüth, H.

Volltext

Heavy carbon doping in low-pressure metalorganic vapor phase epitaxy of GaAs using trimethylarsenic — a comparison between the carrier gases N 2 and H 2 von Hardtdegen, Hilde, Ungermanns, Chr, Wirtz, K., Guggi, D., Herion, J., Siekmann, Hildegard, Lüth, H.

Volltext

Process and device for cleaning and etching a substrate with a transparent conductive oxide layer von RECH BERND, APENZELLER WOLFGANG, SCHOEPE GUNNAR, SIEKMANN HILDEGARD, REPMANN TOBIAS, MUELLER JOACHIM, SEHRBROCK BRIGITTE

Volltext bestellen

PROCESS AND DEVICE FOR CLEANING AND ETCHING A SUBSTRATE WITH A TRANSPARENT CONDUCTIVE OXIDE LAYER von JOACHIM MUELLER, BRIGITTE SEHRBROCK, WOLFGANG APENZELLER, GUNNAR SCHOEPE, HILDEGARD SIEKMANN, BERND RECH, TOBIAS REPMANN

Volltext bestellen

VERFAHREN ZUR REINIGUNG UND ÄTZUNG EINES SUBSTRATES MIT EINER TRANSPARENTEN, LEITFÄHIGEN OXIDSCHICHT SOWIE VORRICHTUNG ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS von APENZELLER, WOLFGANG, SEHRBROCK, BRIGITTE, MUELLER, JOACHIM, REPMANN, TOBIAS, SIEKMANN, HILDEGARD, RECH, BERND, SCHOEPE, GUNNAR

Volltext bestellen

PROCESS AND DEVICE FOR CLEANING AND ETCHING A SUBSTRATE WITH A TRANSPARENT CONDUCTIVE OXIDE LAYER von APENZELLER, WOLFGANG, SEHRBROCK, BRIGITTE, MUELLER, JOACHIM, REPMANN, TOBIAS, SIEKMANN, HILDEGARD, RECH, BERND, SCHOEPE, GUNNAR

Volltext bestellen

Process and Device for Cleaning and Etching a Substrate Wi von RECH BERND, APENZELLER WOLFGANG, SCHOPE GUNNAR, SIEKMANN HILDEGARD, REPMANN TOBIAS, SEHRBROCK BRIGITTE, MULLER JOACHIM

Volltext bestellen

Verfahren zur Behandlung von Substraten mit vorstrukturierten Zinkoxidschichten von SEHRBROCK, BRIGITTE, MUELLER, JOACHIM, REPMANN, TOBIAS, APPENZELLER, WOLFGANG, SIEKMANN, HILDEGARD, RECH, BERND, SCHOEPE, GUNNAR

Volltext bestellen

PROCESS AND DEVICE FOR CLEANING AND ETCHING A SUBSTRATE WITH A TRANSPARENT CONDUCTIVE OXIDE LAYER von RECH BERND, APENZELLER WOLFGANG, SCHOPE GUNNAR, SIEKMANN HILDEGARD, REPMANN TOBIAS, SEHRBROCK BRIGITTE, MULLER JOACHIM

Volltext bestellen

PROCESS AND DEVICE FOR CLEANING AND ETCHING A SUBSTRATE WITH A TRANSPARENT CONDUCTIVE OXIDE LAYER von APENZELLER, WOLFGANG, SEHRBROCK, BRIGITTE, MUELLER, JOACHIM, REPMANN, TOBIAS, SIEKMANN, HILDEGARD, RECH, BERND, SCHOEPE, GUNNAR

Volltext bestellen

PROCEDIMIENTO PARA LIMPIAR Y CORROER UN SUSTRATO CON UNA CAPA DE OXIDO CONDUCTIVA TRANSPARENTE, Y DISPOSITIVO PARA LA PUESTA EN PRACTICA DEL PROCEDIMIENTO von APENZELLER, WOLFGANG, REPMANN, TOBIAS, SIEKMANN, HILDEGARD, RECH, BERND, MULLER, JOACHIM, SCHOPE, GUNNAR

Volltext bestellen

PROCESS AND DEVICE FOR CLEANING AND ETCHING A SUBSTRATE WITH A TRANSPARENT CONDUCTIVE OXIDE LAYER von APENZELLER, WOLFGANG, SEHRBROCK, BRIGITTE, MUELLER, JOACHIM, REPMANN, TOBIAS, SIEKMANN, HILDEGARD, RECH, BERND, SCHOEPE, GUNNAR

Volltext bestellen

PROCESS AND DEVICE FOR CLEANING AND ETCHING A SUBSTRATE WITH A TRANSPARENT CONDUCTIVE OXIDE LAYER von APENZELLER, WOLFGANG, SEHRBROCK, BRIGITTE, MUELLER, JOACHIM, REPMANN, TOBIAS, SIEKMANN, HILDEGARD, RECH, BERND, SCHOEPE, GUNNAR

Volltext bestellen

Verfahren zur Reinigung und Ätzung eines Substrates mit einer transparenten, leitfähigen Oxidschicht, sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens von SEHRBROCK, BRIGITTE, MUELLER, JOACHIM, REPMANN, TOBIAS, APPENZELLER, WOLFGANG, SIEKMANN, HILDEGARD, RECH, BERND, SCHOEPE, GUNNAR

Volltext bestellen