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High-rate magnetron sputtering with hot target
Veröffentlicht in Surface & coatings technology
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Angular thickness distribution and target utilization for hot Ni target magnetron sputtering
Veröffentlicht in Vacuum
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Evaporation factor in productivity increase of hot target magnetron sputtering systems
Veröffentlicht in Vacuum
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Hot target magnetron sputtering for ferromagnetic films deposition
Veröffentlicht in Surface & coatings technology
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Hot target magnetron sputtering enhanced by RF-ICP source for CrNx coatings deposition
Veröffentlicht in Vacuum
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