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Resistivity anisotropy of nickel films induced by oblique incidence sputter deposition
Veröffentlicht in Thin solid films
VolltextArtikel -
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Internal stress in sputter-deposited Al2O3 films
Veröffentlicht in Thin solid films
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Internal stress in sputter-deposited Al 2O 3 films
Veröffentlicht in Thin solid films
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