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1
Effect of Native Oxide on Polycrystalline Silicon CMP
von
Shin, Woonki
,
Cho, Hanchul
,
Lee, Hojun
,
Jeong, Haedo
Veröffentlicht in
Journal of the Korean Physical Society
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Local/global planarization of polysilicon micropatterns by selectivity controlled CMP
von
Shin, Woonki
,
Park, Sungmin
,
Kim, Hyoungjae
,
Joo, Sukbae
,
Jeong, Haedo
Veröffentlicht in
International journal of precision engineering and manufacturing
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3
Etching methods and methods of manufacturing semiconductor devices using the same
von
Lim HanJin
,
Yu Hyun-Kwan
,
Shin DongSuk
,
Shin Woonki
,
Park Moonhan
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Patent
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4
ETCHING METHODS AND METHODS OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICES USING THE SAME
von
SHIN Woonki
,
PARK Moonhan
,
YU Hyun-Kwan
,
SHIN DongSuk
,
LIM HanJin
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International Journal Of Precision Engineering And Manufacturing
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International Journal Of Precision Engineering And Manufacturing, 10
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Journal Of The Korean Physical Society
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Physical Sciences
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Physics
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1
Erscheinungsjahr
Von:
Bis:
Quelle
Esp@Cenet
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Springerlink Journals - Autoholdings
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과학기술학회
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Ezb-Free-00999 Freely Available Ezb Journals
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