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High-Sensitivity Piezoelectric MEMS Accelerometer for Vector Hydrophones
Veröffentlicht in Micromachines (Basel)
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High Sensitivity MEMS Accelerometer Using PZT-Based Four L-Shaped Beam Structure
Veröffentlicht in IEEE sensors journal
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Design and fabrication of a novel MEMSpiezoelectric hydrophone
Veröffentlicht in Sensors and actuators. A. Physical.
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Design and fabrication of a novel MEMS piezoelectric hydrophone
Veröffentlicht in Sensors and actuators. A. Physical.
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