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    MEMS technology development and manufacturing in a CMOS foundry

    MEMS technology development and manufacturing in a CMOS foundry von Liu, C.M., Lin, Chung-Hsien, Chung, Tien-Kan, Chang, Kuei-Sung, Liu, Yi-Shao, Chou, Bruce C.S., Tsai, Robert Chin-Fu, Shen, Nick Y.M., Chen, Benior S.F., Cheng, Emerson C.W., Tuan, Hsiao Chin, Kalnitsky, Alex, Cheng, Sean


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    Method Of Fabricating An Integrated CMOS-MEMS Device

    Method Of Fabricating An Integrated CMOS-MEMS Device von LIU MINGO, CHANG ALLEN TIMOTHY, SHEN NICK Y.M, WU HUA-SHU, HUANG TSUNGNG, LIANG KAIIH, PENG LIUN

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    A PROCESS FOR WAFER BONDING

    A PROCESS FOR WAFER BONDING von LIANG KAI CHIH, SHIAU GWO YUH, CHANG FA YUAN, LAI TSUNG MU, CHANG CHU WEI, SHEN NICK Y.M, PAI CHING CHUNG, HO CHIN HSIUNG, TSAI CHIA SHIUNG, WU HUA SHU, LIU MING CHYI, HSIEH YUAN CHIH

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