Suchergebnisse - Shalini, Ashawaraya | OPAC THWS

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Structural characterization of tantalum nitride films as wet etch stop layer in advanced multiwork function metal gate MOSFETs von Mennell, Petra, Parvaneh, Hamed, Bayindir, Zeynel, Kang, Dong Hun, Baumann, Frieder, Madan, Anita, Bello, Abner, Shalini, Ashawaraya, Klare, Mark

Veröffentlicht in Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics

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METHOD FOR OES DATA COLLECTION AND ENDPOINT DETECTION von VORONIN, Sergey, NG, Joel, ZHU, Ying, CHEN, Yan, SONG, Da, SHALINI, Ashawaraya, MESSER, Blaze

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Method for OES Data Collection and Endpoint Detection von Chen, Yan, Ng, Joel, Zhu, Ying, Messer, Blaze, Shalini, Ashawaraya, Song, Da, Voronin, Sergey

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Time-Resolved OES Data Collection von Mitrovic, Andrej, Chen, Yan, Ng, Joel, Zhu, Ying, Messer, Blaze, Shalini, Ashawaraya, Song, Da, Voronin, Sergey

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OPTICAL EMISSION SPECTROSCOPY FOR ADVANCED PROCESS CHARACTERIZATION von VORONIN, Sergey, NG, Joel, ZHU, Ying, CHEN, Yan, SONG, Da, SHALINI, Ashawaraya, MESSER, Blaze

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Optical Emission Spectroscopy for Advanced Process Characterization von Chen, Yan, Ng, Joel, Zhu, Ying, Messer, Blaze, Shalini, Ashawaraya, Song, Da, Voronin, Sergey

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ADVANCED OES CHARACTERIZATION von KO, Akiteru, VORONIN, Sergey, NG, Joel, MIHAYLOV, Mihail, ZHU, Ying, CHEN, Yan, SONG, Da, SHALINI, Ashawaraya, MACHUCA, Francisco, MESSER, Blaze

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Method for OES data collection and endpoint detection von NG, JOEL, ZHU, YING, CHEN, YAN, SHALINI, ASHAWARAYA, SONG, DA, VORONIN, SERGEY, MESSER, BLAZE

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