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A quartz crystal microbalance (QCM)-based easy setup device for real-time mass change detection under high-power RF plasma
von
Senturk, Fatih
,
Kocum, Ismail Cengiz
,
Seyitoglu, Melek Ilayda
,
Aksan, Eda Sevval
Veröffentlicht in
Review of scientific instruments
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