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Suchergebnisse - Setogucti, Yoshitaka
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Reliability of two-layer IGZO TFT by inductively coupled plasma sputtering
von
Matsuo, Daisuke
,
Miyanaga, Ryoko
,
Ikeda, Takuya
,
Kishida, Shigeaki
,
Setogucti, Yoshitaka
,
Andoh, Yasunori
,
Fujii, Mami
,
Uraoka, Yukiharu
Veröffentlicht in
JSAP Annual Meetings Extended Abstracts
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誘導結合プラズマスパッタ装置を用いた2層IGZO TFTの信頼性評価
von
松尾, 大輔
,
宮永, 良子
,
池田, 拓弥
,
岸田, 茂明
,
瀬戸口, 佳孝
,
安東, 靖典
,
藤井, 茉美
,
浦岡, 行治
Veröffentlicht in
応用物理学会学術講演会講演予稿集
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