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Additive core subtractive liner for metal cut etch processes
von
Greene, Andrew M
,
Seshadri, Indira P. V
,
Rath, David L
,
Venigalla, Rajasekhar
,
Chung, Kisup
,
Bao, Ruqiang
,
Kanakasabapathy, Sivananda K
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Hard masks for block patterning
von
Xu, Yongan
,
Seshadri, Indira P. V
,
De Silva, Ekmini A
,
Estrada-Raygoza, Isabel C
,
Mignot, Yann A. M
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HARD MASKS FOR BLOCK PATTERNING
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