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POSSIBILITY OF THE METASTABLE Al2O3 PHASE FORMATION Al3Si IN COMPOSITE Al-Si FILMS OBTAINED BY ION-BEAM AND MAGNETRON SPUTTERING
von
Vladimir A. Terekhov
,
Darya S. Usoltseva
,
Oleg V. Serbin
,
Igor’ E. Zanin
,
Tatyana V. Kulikova
,
Dmitrij N. Nesterov
,
Konstantin A. Barkov
,
Aleksandr V. Sitnikov
,
Sergey K. Lazaruk
,
Evelina P. Domashevskaja
Veröffentlicht in
Kondensirovannye sredy i mežfaznye granicy
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