-
1
-
2
-
3
-
4
-
5
Chemical mechanical polishing of PZT thin films for FRAM applications
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
VolltextArtikel -
6
-
7
-
8
-
9
Effects of slurry filter size on the chemical mechanical polishing (CMP) defect density
Veröffentlicht in Materials letters
VolltextArtikel -
10
-
11
-
12
-
13
CMP properties and fabrication of OLED using MEH-PPV
Veröffentlicht in Physica status solidi. C
VolltextArtikel -
14
-
15
-
16
-
17
-
18
-
19
-
20
Effects of STI-fill thickness on the CMP process defects
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
VolltextArtikel