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Morphology evolution of PS-b-PDMS block copolymer and its hierarchical directed self-assembly on block copolymer templates
von
Rasappa, Sozaraj
,
Schulte, Lars
,
Borah, Dipu
,
Hulkkonen, Hanna
,
Ndoni, Sokol
,
Salminen, Turkka
,
Senthamaraikanan, Ramsankar
,
Morris, Michael A.
,
Niemi, Tapio
Veröffentlicht in
Microelectronic engineering
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