Suchergebnisse - Selinidis, K. | OPAC THWS

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Patterned wafer defect density analysis of step and flash imprint lithography von McMackin, I., Martin, W., Perez, J., Selinidis, K., Maltabes, J., Xu, F., Resnick, D., Sreenivasan, S. V.

Veröffentlicht in Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena

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2

In situ control and monitoring of doped and compositionally graded SiGe films using spectroscopic ellipsometry and second harmonic generation von Mantese, L, Selinidis, K, Wilson, P.T, Lim, D, Jiang, Y.Y, Ekerdt, J.G, Downer, M.C

Veröffentlicht in Applied surface science

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Stepper registration analysis using Monte Carlo modeling von Waldo, W.G., Selinidis, K., Espenscheid, A.

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4

In situ control and monitoring of doped and compositionally graded SiGe films using spectroscopic ellipsometry and second harmonic generation von MANTESE, L, SELINIDIS, K, WILSON, P. T, LIM, D, JIANG, Y. Y, EKERDT, J. G, DOWNER, M. C

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Nonlinear optics and spectroscopic ellipsometry as complementary sensors to monitor and control SiGe growth von Montese, L., Wilson, P.T., Selinidis, K., Lim, D., Jiang, Y., Canterbury, J.D., Ekerdt, J.G., Downer, M.C.

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6

Film processing solution cartridge and method for developing and digitizing film von Patterson, Richard A, Gault, Joseph B, Straigis, John J, Mapel, William D, Thering, Michael R, Mooty, G. Gregory, Lea, Patrick W, Selinidis, Kosta S, Brown, Steven K, Saldana, Homero, Segerstrom, Eric C, Cook, Stacy S, Lester, Leland A

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7

Film processing solution cartridge and method for developing and digitizing film von STRAIGIS JOHN J, MOOTY G. GREGORY, THERING MICHAEL R, MAPEL WILLIAM D, COOK STACY S, LESTER LELAND A, BROWN STEVEN K, LEA PATRICK W, GAULT JOSEPH B, SELINIDIS KOSTA S, PATTERSON RICHARD A, SEGERSTROM ERIC C, SALDANA HOMERO

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Film processing solution cartridge and method for developing and digitizing film von STRAIGIS JOHN J, MOOTY G. GREGORY, THERING MICHAEL R, MAPEL WILLIAM D, COOK STACY S, LESTER LELAND A, BROWN STEVEN K, LEA PATRICK W, GAULT JOSEPH B, SELINIDIS KOSTA S, PATTERSON RICHARD A, SEGERSTROM ERIC C, SALDANA HOMERO

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Film processing solution cartridge and method for developing and digitizing film von STRAIGIS JOHN J, MOOTY G. GREGORY, THERING MICHAEL R, MAPEL WILLIAM D, COOK STACY S, LESTER LELAND A, BROWN STEVEN K, LEA PATRICK W, GAULT JOSEPH B, SELINIDIS KOSTA S, PATTERSON RICHARD A, SEGERSTROM ERIC C, SALDANA HOMERO

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Film processing solution cartridge and method for developing and digitizing film von Patterson, Richard A, Gault, Joseph B, Straigis, John J, Mapel, William D, Thering, Michael R, Mooty, G. Gregory, Lea, Patrick W, Selinidis, Kosta S, Brown, Steven K, Saldana, Homero, Segerstrom, Eric C, Cook, Stacy S, Lester, Leland A

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