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1
Simulation of a vertical reactor for high pressure organometallic chemical vapor deposition
von
Kepler, G.M
,
Höpfner, C
,
Scroggs, J.S
,
Bachmann, K.J
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Materials science & engineering. B, Solid-state materials for advanced technology
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Optimal design of a high pressure organometallic chemical vapor deposition reactor
von
Bachmann, K.J.
,
Banks, H.T.
,
Höpfner, C.
,
kepler, G.M.
,
LeSure, S.
,
McCall, S.D.
,
Scroggs, J.S.
Veröffentlicht in
Mathematical and computer modelling
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Modeling and optimal design of a chemical vapor deposition reactor
von
Tran, H.T.
,
Scroggs, J.S.
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Ieee Power & Energy Library
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Ieee Electronic Library (Iel)
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